- 维意真空ALD源瓶W-YB5
详细信息
品牌:维意真空 型号:W-YB5 加工定制:是
源瓶特点:- 所有管件采用316L不锈钢,内部经400目机械抛光和电化学抛光,
- 阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK
- 密封垫片选用纯银镀镍垫片;
- 氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
- 可盛装化学品纯度≧99.9995;
- 总残余元素量≦50PPb;
- 坠落试验,通过国家商检部门检测;
- 介质,TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
- 可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的
- 可提供非标定做。
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