维意真空等离子增强化学气相沉积PE-CVD
详细信息
PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。
该型号PECVD为单温区系列*新款，综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。而且控制部分采用了维意自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统，使得操作更加简便，功能更加强大。
主要特点：
- AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控
制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协
调控制；
2. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
3. 智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
4. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，
自动运行；
- 炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可
距离；
6. 整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
技 术 参 数
| 加热炉部分 |
| 1 |
炉膛模式 |
开启式炉膛 |
| 2 |
显示模式 |
7英寸触摸屏 |
| 3 |
极限温度 |
1200℃ |
| 4 |
工作温度 |
≤1150℃ |
| 5 |
升温速率 |
建议10℃/Min Max：30℃/Min |
| 6 |
加热温区 |
单温区/双温区/三温区 |
| 7 |
单温区长度 |
200 mm |
| 8 |
炉管规格 |
60*1150 mm |
| 9 |
控温精度 |
±1℃ |
| 10 |
密封方式 |
快速法兰密封 |
| 11 |
温度曲线 |
30段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 12 |
预存曲线 |
可预存15条温度曲线 |
| 13 |
超温报警 |
有 |
| 14 |
过流保护 |
有 |
| 15 |
断偶提示 |
有 |
| 16 |
测温元件 |
K型热电偶 |
| 17 |
炉膛材料 |
氧化铝纤维 |
| 18 |
外形尺寸 |
800*560*1500MM |
| 射频电源功率 |
| 1 |
信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
| 2 |
功率输出范围 |
5W-300W |
| 3 |
功率稳定度 |
±0.1% |
| 4 |
谐波分量 |
≤-50dbc |
| 5 |
供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 6 |
整机效率 |
>=70% |
| 7 |
功率因素 |
>=90% |
| 8 |
冷却方式 |
强制风冷 |
| 真空部分 |
| 1 |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
| 2 |
功率 |
500W |
| 3 |
抽气速率 |
6L/s |
| 4 |
进气口口径 |
KF25 |
| 5 |
排气口口径 |
KF25 |
| 6 |
转速 |
1450rpm |
| 7 |
噪音 |
55dB |
| 8 |
极限真空 |
4X10-2Pa |
| 气路系统（标配2路普通质量流量计，更精准的可选配） |
| 1 |
1,2气路采用DB07K系列 |
| 准确度：±1.5% |
| 重复精度：±0.2% |
| 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围：0.1～0.5 MPa |
| 2 |
3路采用高精度CS200系列 |
| 准确度：±0.35%FS ±1.0%SP |
| 线性：±0.5%FS |
| 重复精度：±0.2%FS |
| 响应时间：气特性：1Sec |
| 整机系统特色 |
| 1 |
正压测量 |
-100Kpa---100Kpa |
| 2 |
真空测量 |
10-2Pa ～100Kpa（支持Ar测量） |
| 3 |
正压保护 |
支持 |
| 4 |
压力恒定 |
支持 |
| 5 |
智能气路 |
支持 |
| 6 |
气路定时 |
支持 |
| 7 |
射频工作时间设定 |
支持 |
| 8 |
移动速度调节 |
支持 |
| 9 |
系统真空度 |
4.8×10-1Pa |
￥850.00
